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测试样品

压电薄膜

测试项目

性能测试，指标测试等。

检测标准参考

IEC 62047-37-2020半导体器件–微机电器件–第37部分：用于传感器的MEMS压电薄膜的环境测试方法–版本1.0

SJ 20717A-2018氧化锌压电薄膜规范

SJ 21102-2016氮化铝压电薄膜通用规范

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